《精细玻璃ITO镀膜工艺的研究与应用》-毕业论文（设计）.doc

PAGE PAGE 精品 精品 学年论文 题 目 精细玻璃ITO镀膜工艺的研究与应用 学 生 学 号 0842020203 专 业 08材料物理 班 级 02 指导教师 完成时间 2011 年 11 月___27 日 成 绩 精品 精品 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc311110989 摘要 PAGEREF _Toc311110989 \h I HYPERLINK \l _Toc311110990 引言： PAGEREF _Toc311110990 \h 1 HYPERLINK \l _Toc311110991 一、磁控溅射法制备ITO薄膜 PAGEREF _Toc311110991 \h 2 HYPERLINK \l _Toc311110992 1、实验 PAGEREF _Toc311110992 \h 2 HYPERLINK \l _Toc311110993 1.1 样品的制备 PAGEREF _Toc311110993 \h 2 HYPERLINK \l _Toc311110994 1.2 性能的表征 PAGEREF _Toc311110994 \h 2 HYPERLINK \l _Toc311110995 1.3 ITO薄膜的制备 PAGEREF _Toc311110995 \h 3 HYPERLINK \l _Toc311110996 2、结果与讨论 PAGEREF _Toc311110996 \h 4 HYPERLINK \l _Toc311110997 2.1 靶材角度对ITO薄膜的光电-性能的影响 PAGEREF _Toc311110997 \h 4 HYPERLINK \l _Toc311110998 2.2 氧流量对ITO薄膜的光电性能的影响 PAGEREF _Toc311110998 \h 5 HYPERLINK \l _Toc311110999 2.3溅射时间对ITO薄膜的光电性能的影响 PAGEREF _Toc311110999 \h 6 HYPERLINK \l _Toc311111000 2.4 溅射功率对ITO薄膜的光电性能的影响 PAGEREF _Toc311111000 \h 7 HYPERLINK \l _Toc311111001 3、结论 PAGEREF _Toc311111001 \h 8 HYPERLINK \l _Toc311111002 二、溶胶-凝胶法制备 PAGEREF _Toc311111002 \h 8 HYPERLINK \l _Toc311111003 1、Sol—Gel法制备ITO薄膜的工艺过程 PAGEREF _Toc311111003 \h 8 HYPERLINK \l _Toc311111004 1.1 前驱液的制备 PAGEREF _Toc311111004 \h 9 HYPERLINK \l _Toc311111005 1.2 薄膜的制备 PAGEREF _Toc311111005 \h 9 HYPERLINK \l _Toc311111006 2、结果与讨论 PAGEREF _Toc311111006 \h 9 HYPERLINK \l _Toc311111007 2.1 掺Sn量对薄膜光电性能的影响 PAGEREF _Toc311111007 \h 9 HYPERLINK \l _Toc311111008 2.2 热处理温度对薄膜光电性能的影响 PAGEREF _Toc311111008 \h 11 HYPERLINK \l _Toc311111009 2.3 镀膜层数对薄膜光电性能的影响 PAGEREF _Toc311111009 \h 12 HYPERLINK \l _Toc311111010 3、结论 PAGEREF _Toc311111010 \h 13 HYPERLINK \l _Toc311111011 三、ITO薄膜的应用 PAGEREF _Toc311111011 \h 13 HYPERLINK \l _Toc311111012 3