热反射玻璃镀膜工艺研究.pdf

第 6 期 真　　　　空 　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　23 1996 年 12 月 V acuum V acuum T echno logy an d M ater ia l 热反射玻璃镀膜工艺的研究 王晓光　江月山　杨乃恒 ( 东北大学) 赵新宇　王　洋　王毓民 (机械工业部沈阳真空技术研究所) Study f or the Techn ology of D epo sit ion Hea t M irror F ilm s on Gla ss W ang X iaog uang , J iang Y u esh an , Y ang N a ih eng ( ) N o r th X ea stern U n iver sity Z h ao X iny u , W ang Y ang , W ang Y um in (Sh enyan g V acuum T echno lo gy In st itu te) A bstract T h e p ap er stu d ie s th e op t ica l an d com pon en t p rop er t ie s o f tw o layer h eat m ir ro r film s depo sit . ed by D C m agn et ron sp u t ter ing m ean s A good depo sit ion techno logy o f th is w ay h eat m ir ro r film . is su gge sted Som e p rob lem s conn ected w ith in du st ry arch itectu ra l g la ss film p rodu ct ion are a lso . d iscu ssed h ere 摘　要　本文采用直流磁控溅射方法, 对氧化不锈钢膜、金属 膜、 膜和 膜在不 T i T iN T iO N x y 同工艺和不同组合条件下形成的两层膜系热反射镀膜玻璃的光学性能及有关组份进行了测 试分析, 阐明了该种方法及该种系列工艺条件下镀制热反射玻璃镀膜的性质, 提出了此工艺 条件镀制两层膜系热反射玻璃镀膜的最佳组合工艺。对有关工业生产中实施工艺技术所存 在的问题进行了探讨。 主题词: 两层膜系　热反射玻璃镀膜 一、前　　言 随着节能与美学观念 日益深入到建筑领域