ITO玻璃镀膜简介.doc.doc

ITO玻璃教育訓練教材 PAGE 6 ＬＣＤ简介 ＩＴＯ玻璃 ２．１ ＩＴＯ玻璃简介 ＩＴＯ玻璃制造流程 ＩＴＯ玻璃生产管理 切割及裂片作业说明 ３．１ 制程简介 治具规格说明 制程操作说明及制程条件设定 机台故障排除ˋ停电处理程序 质量自主检查 其它注意事项 磨边及倒角作业说明 制程简介 治具规格说明 制程条件 机台操作及故障排除 质量自主检查 其它注意事项 清洗作业说明 制程简介 洗净配药方法 制程条件 机台操作及故障排除 质量自主检查 其它意事项  抛光作业说明 2.1抛光玻璃作业流程简介 2.2抛光原理 2.3抛光玻璃之规格 机台简介与制程条件设定 2.1抛光机台简介 2.2制程条件设说明 抛光五大控制因素 3.1 P.P的管理 3.2 Pad的管理 3.3 template的管理 3.4研磨剂的管理 3.5振幅的管理 机台操作与抛光作业注意事项 4.1作业前之确认事项 4.2机台操作 4.3抛光作业注意事项 4.4破片处理程序 研磨剂测量及Pad修正 6.1研磨剂测量 6.2 Pad的修正 质量检验作业程序及标准 5.1抽检作业 5.2质量检验作业 　前言 LCD简介 ＬＣＤ：液晶屏幕显示器(Liquid Crystal Display)。 ＬＣ：液晶，遇电场会使液晶分子从平躺状态旋转成站立情况，使光线从无法穿透变成可穿透，进而产生明暗对比的情形。 ＬＣＤ依其扭转的程度可分为：(1)ＴＮ型　(2)ＨＴＮ型　(3)ＳＴＮ型，目前公司主要生产的为ＴＮ型及ＳＴＮ型ＬＣＤ。 ＬＣＤ以图型来区分可分为：(1)七段式（适用于计算器、电子表等）(2)点矩阵式（适用于电子字典、计算机等）。 ＬＣＤ作动的原理为：组合两片ＩＴＯ导电玻璃，之间灌入液晶，当导电玻璃通电时，上下两片图形、线路有重迭部分就会产生电场，改变液晶分子方向，即会颢示。 ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ E↓ ↓ ↓ ↓ ↓ E ─ ─ ─ ─ ─ ─ 玻璃基板： 一般ＴＮ／ＳＴＮ显示器是使用碱石灰玻璃作为基板，即俗称的钠玻璃。此平板玻璃是采用浮法方法制成，所以又称浮法玻璃。所谓的浮法制程(Floating Process)就是熔融的玻璃抽出后先经过锡炉，然后回温至室温，此种方式产出的玻璃称之为浮法玻璃。玻璃基板的一些特性，如表面凹凸、冷热冲击性、钠离子释出量．．等特性，对ＬＣＤ产品质量或制程加工性都有重要影响。 玻璃基板规格： 厚度： 一般为1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm 外形尺寸： 目前厂内比较常生产之尺寸为300*350、370*480。 表面的伤痕、气泡及杂物： 有些矩阵图形，布线最小图形为5-10um，因此在璃基皮上的缺陷也应小于5um，最近图形越来越细，有时50um以下的伤痕和杂物都成了问题。 玻璃表面的凹凸： 表面粗糙度： 在1-2um的范围内多次重复出的凹凸，其变化通常比人眼的分辨率还小，这种微小的凹凸影响涂覆膜的特性、液晶取向和图形边缘的平整 表面波纹： 是周期在1mm以上的表面凹凸，通常有5-20mm的周期，这有可能成为不均匀显示的背景。 翘曲： 通常是在基板内出现1-2次的凹凸，翘曲过大的表面波纹在颢示制造过程中的约是，在操作机台上真空吸附基板时不得产生模糊现象；在有矩阵型时，在实施微细图形的光刻工程中不得产生漏气现象；不得出现干涉条纹背景等不均匀显示对于上述各项，各种液晶显示器所对应容估计值如下表： 有源矩阵 TN STN 表面粗糙度Ra 100~150? 200-300? 200-300? 平整度 － 0.2um/20mm 0.05um/20mm 波纹型 0.5um 0.3um 0.05um 翘曲度 100um 500um 500um 　ＩＴＯ玻璃 ＩＴＯ玻璃简介 ＩＴＯ是 Indium Tin Oxide 三个字的缩写，中文为氧化铟锡；ＩＴＯ玻璃是在清洁的绝缘素玻璃表面上，以真空镀膜的方法依序镀上ＳｉＯ２层(二氧化硅)及ＩＴＯ层(氧化铟锡)；ＳｉＯ２膜乃作为阻挡层，因玻璃基板中的碱性成分会微量释出，并渗入液晶中，进而造成液晶电阻率不降，另钠离子会导电造成字肥现象，或使密封胶黏力下降等，故须先镀上一层ＳｉＯ２做为阻隔。ＩＴＯ薄膜的特性是在可见光区具有高度的穿透性与极佳的导电性，非常商合作为ＬＣＤ显示器的透明导电极。ＩＴＯ玻璃结构如下图所示： 素玻璃 素玻璃 ITO膜: 2x10-5 SiO2膜: 2.5x10-5 ＩＴＯ膜的特性： 在常温下具有良好的导性。 禁带较宽，主要吸收在紫外光区，因而对可见光有良好的透过率。 ＩＴＯ膜耐碱不耐酸，用盐酸和硝酸的混合液极易蚀刻。 ＩＴＯ导电膜愈厚，则面阻抗值愈低；穿透率郄会因膜厚不同而有极小值和极大值，膜厚约在1370?处会出现穿透率的极大值。 ＩＴＯ膜在颜色上的区分： １００Ω：无色 ８