离子( N+ 2 , N )在阴极壁的能量变化规律的蒙特卡 - 河北师范大学学报.PDF

2001　3 () Mar. 2001 25 1 　 Journal of Hebei Normal University(Natural Science) 　 Vol. 25 No. 1 离子( 2 , )在阴极壁的能量 N N 变化规律的蒙特卡罗模拟 1 2 1 张连珠 ,　杜润华 ,　王清华 ( 1. , 　050091; 2., 060000) 　: (N , N ), 2 .: ,,; ,; , , ; N N P 200 Pa , N ,,, N . : ; ; : 461. 2　　　: 　　　: 1000-5854( 2001) 01-0046-03 O A ,, Ar He . 2 , N . CaN β-C3 N4 、, .,() , [ 1] ,. Riemann Ar ,( N2 , N ).、 [2] ,、. - ,( e , N2 , N N2f ) ,( N2 , N N2f ) ,. ,( N2 , N )(, ), ( N2 , N ). N2 、,, . 1　 N2 ( N2 , N )[2]. [3, 4],[1], 300 K. 2 1. 1　离子 N 的分布 2 2 1 N . N ,, [2] 2 N ,. 1 Torr, 600 V , N2 70 eV , 40 eV ( 1( a) ); ,, ( 1( ) , ( ) ); a b ,,, N2 ( 1(a)(b) ) . : 2000 10 20 : ( 1957- ) ,,,. 1　　　 　　　: ( , )　　 　　　　　　　　 N2 N 47 1　 N2 1. 2　离子 N