离子( N+ 2 , N )在阴极壁的能量变化规律的蒙特卡 - 河北师范大学学报.PDF
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2001 3 () Mar. 2001
25 1 Journal of Hebei Normal University(Natural Science) Vol. 25 No. 1
离子( 2 , )在阴极壁的能量
N N
变化规律的蒙特卡罗模拟
1 2 1
张连珠 , 杜润华 , 王清华
( 1. , 050091; 2., 060000)
: (N , N ),
2
.: ,,;
,; , , ;
N N
P 200 Pa , N ,,,
N .
: ; ;
: 461. 2 : : 1000-5854( 2001) 01-0046-03
O A
,,
Ar He
. 2 ,
N
. CaN β-C3 N4 、,
.,()
,
[ 1]
,. Riemann Ar
,( N2 , N ).、
[2]
,、.
-
,( e , N2 , N N2f )
,( N2 , N N2f ) ,.
,( N2 , N )(,
), ( N2 , N ). N2
、,,
.
1
N2 ( N2 , N )[2].
[3, 4],[1], 300 K.
2
1. 1 离子 N 的分布
2 2
1 N . N ,,
[2]
2
N ,. 1 Torr,
600 V , N2 70 eV , 40 eV ( 1( a) );
,, ( 1( ) , ( ) );
a b
,,, N2 ( 1(a)(b) ) .
: 2000 10 20
: ( 1957- ) ,,,.
1 : ( , )
N2 N 47
1
N2
1. 2 离子 N
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