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一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214125594 U (45)授权公告日 2021.09.03 (21)申请号 202120229963.4 (22)申请日 2021.01.27 (73)专利权人 东莞市晟鼎精密仪器有限公司
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