纳米粒子、纳米粒子层图案化的方法及相关应用.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114574187 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202011376226.3 G03F 7/004 (2006.01)
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