文档详情

电子束抗蚀剂组合物.pdf

发布：2023-06-17约20.31万字共111页下载文档

文本预览下载声明

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113376958 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110231195.0 G03F 7/20 (2006.01) (22)申请日 20

显示全部

相似文档

抗蚀剂组合物.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114830031 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202080079572.7 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任
2023-05-16 约1.68万字 14页立即下载
GB/T 16527-1996硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范.pdf ICS31.200 L 90 着羚中华人民共和国国家标准 GB/T16527一 1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和 电子束抗蚀剂规范 Specificationforphotoresist/E-beam resistforh
2019-04-13 约10千字 12页立即下载
干膜抗蚀剂组合物及干膜抗蚀剂层压体.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113341647 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110460609.7 (22)申请日 2021.04.27 (71)申请人浙江福斯特新材料研究院有限公司
2023-06-19 约2.82万字 21页立即下载
抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112987497 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202011474716.7 (22)申请日 2020.12.14 (30)优先权数据 2019-22
2023-06-06 约7.86万字 64页立即下载
感光化射线性或感放射线性树脂组合物、抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113366081 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202080011046.7 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任
2023-06-20 约11.32万字 99页立即下载
使用组合光学与电子束技术的偏移测量.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113366619 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 201980091117.6 (74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限
2023-06-16 约3.9万字 44页立即下载
感光树脂组合物及干膜抗蚀剂.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113341649 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110665940.2 (22)申请日 2021.06.16 (71)申请人杭州福斯特电子材料有限公司
2023-06-19 约1.24万字 10页立即下载
纳米压印用抗蚀剂下层膜形成用组合物.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114830298 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202080088420.3 (74)专利代理机构北京市中咨律师事务所
2023-05-14 约4.5万字 35页立即下载
包含自由基捕获剂的抗蚀剂下层膜形成用组合物.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113383036 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202080012493.4 (74)专利代理机构北京市中咨律师事务所
2023-06-19 约3.04万字 27页立即下载
《电子束辐照》课件.ppt 电子束辐照技术详解本课件将带您深入了解电子束辐照技术，从其基本原理、设备构成，到剂量学、优点、应用领域以及安全性等各个方面进行全面而详细的介绍。通过本课件的学习，您将能够对电子束辐照技术有一个清晰而完整的认识。sssdfsfsfdsfs 什么是电子束辐照？电子束辐照是一种利用高能电子束对物质进行处理的技术。简单来说，就是用加速后的电子去轰击物体，改变其物理化学性质，达到特定目的。这种技术广泛应用于食品、医疗、材料等领域，具有高效、环保等优点。定义利用电子加速器产生的高能电子束轰击材料，使其发生物理、化学或生物学变化的过程。特点具有速度快、穿透性好、可控性强、无残留等优点。 电子束辐照的原理电子
2025-03-21 约7.22千字 60页立即下载
电子束暴光介绍.ppt Electron Beam Lithography;Patterning techniques The electron beam lithography Applications of the EBL Future oportunities for EBL;Criteriums about different techniques Resolution Speed Easy fabrication Cost;Patterning Techniques;1) Optical Lithography;Resolution Limits;Resolution Limits;Resolution L
2017-04-30 约1.67千字 41页立即下载
电子束曝光技术.ppt 第三讲：电子束曝光技术中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心摘要第一节：纳米加工技术概述第二节：电子束抗蚀剂 第三节：电子束曝光系统原理第四节：电子束曝光工艺举例第一节：纳米加工技术概述纳米加工技术纳米（Nanometer）是一个长度单位，简写为nm。 1nm=10-3μm=10-9m。纳米技术是20世纪80年代末期诞生并在蓬勃发展的一种高新科学技术。纳米不仅是一个空间尺度上的概念，而且是一种新的加工方式，即生产过程越来越细，以至于在纳米尺度上直接由原子、分子的排布制造的具有特定功能的产品
2017-04-11 约1.29万字 149页立即下载
电子束分析基础.pptx ;;;1897年，英国物理学家汤姆逊在研究阴极射线时发现发现电子;;电子束：电子经过汇集成所成的束。激发的装置一般称为电子枪。;二、电子束的产生;电子显微镜电子枪的类型;二、电子束的产生;二、电子束的产生;二、电子束的产生;二、电子束的产生;二、电子束的产生;二、电子束的产生;;三、电子束光学;电子波长与加速电压的关系;电磁透镜;三、电子束光学;;四、电子束与物质的相互作用;四、电子束与物质的相互作用;四、电子束与物质的相互作用;;五、电子激发信息探测及成像;
2024-04-06 约小于1千字 26页立即下载
第16章--电子束焊.ppt 第十六章 电子束焊与激光焊第一节 电子束焊与激光焊的原理、分类、特点和应用一 电子束焊 1 电子束焊的基本原理 电子束焊：是利用加速和聚焦的电子束轰击置于真空或非真空的焊件所产生的热能进行焊接的。是一种高能束流焊接方法。 电子束焊由一般熔焊方法的“热导焊”转变为“穿孔焊”，这是包括激光焊、等离子弧焊在内的高能束流焊接的共同特点。 电子束焊原理图 2 电子束焊的分类（1）高真空电子束焊（真空度为10﹣4~10﹣1Pa）技术特点：加速电压为15~175kv，最大工作距离可达1
2019-08-07 约3.61千字 40页立即下载
《电子束与物质的互作用》.ppt * * 材料显微分析 X光化学分析一. 分析理论基础及方法理论基础：莫塞莱定率 h: plank常数 K: 与马德堡常数有关 σ：屏蔽常数 L系常用K系 XRF 激发源: 一次X-Ray e束 EPMA 不必导电，液体可试样：微区导电或镀膜 Be4-u92 相对较低，几百ppm；绝对较高，10－13－10－14g 少量到百分之百可，必须校正照射区域：检测范围：含量限制：灵敏度：定量分析：展谱方式：大面积 F9－u92 (C6) 相对较高，几－几十ppm；绝对较低。微量到百分之百 WDS或ED
2018-04-01 约2.32千字 33页立即下载