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压电驱动装置的控制方法、压电驱动装置以及机器人.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113014136 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202011510758.1 (22)申请日 2020.12.18 (30)优先权数据 2019-2302

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