文档详情

一种半导体工艺的废气处理系统及其废气的处理方法.pdf

发布:2023-06-02约1.08万字共9页下载文档
文本预览下载声明
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112827341 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202011566842.5 B01D 53/68 (2006.01)
显示全部
相似文档