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超导量子器件及其制备方法，以及超导量子芯片.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117425393A

(43)申请公布日2024.01.19

(21)申请号202311576086.8

(22)申请日2023.11.20

(71)申请人本源量子计算科技

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