超导量子比特空气桥的除胶方法及其芯片.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113003535 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 202110193710.0
(22)申请日 2021.02.20
(71)申请人 中国科学院物理研究所
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