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一种场效应晶体管及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113013250 B (45)授权公告日 2022.08.26 (21)申请号 202110205068.3 H01L 29/51 (2006.01)
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