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垂直结构的发光二极管芯片及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113345990 B (45)授权公告日 2022.05.20 (21)申请号 202110413085.6 H01L 33/00 (2010.01) (22)申请日 2021.04
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