国外三氟化氮制备技术研究开发进展-维普网.PDF

维普资讯 (总第 90期) 化学推进剂与高分子材料 国外三氟化氮制备技术研究开发进展 胡长诚 (黎明化工研究院 洛 阳471001) 摘要 介绍 了国外各有关公司近年来三氟化氮 (NF3)生产发展概况 ；介绍 了三氟化氮主要制备方法 — — 氟氨直接化合法和氟化氢铵熔融盐 电解法的基本原理 、工艺技术 以及研究开发进展 ；介绍 了高纯三氟 化氮典型质量指标及精制提纯方法研究进展 。主要介绍 国外专利技术 。 关键词 三氟化氮 (NF3) 生产 制备 氟氨化合法 氟化氢铵电解法 精制提纯 热解 洗涤 吸附 精馏 l 生产发展势态 与南非 Pelchem 成立合资公 司，在南非建设一 NR 作为半导体工业 中气体清洗剂的全氟烃 (PFC) 生产装置 ，预计 2000年第 4季度投产 ，2001年末能 对环境有害，近年来有逐渐被三氟化氮 (NF3)取代 力达到 250t。合作 中B0C主要发挥其在半导体气 之势。使用 N 作为化学蒸气沉积 ( ，D)箱清洗 体分析、包装和销售渠道等方面的专长，而 Pelchem 剂 ，与全氟烃相 比，可减少污染物排放量约 90％，且 则主要承担生产技术工作 。ASG原在美‘国有一能 可显著提高清洗速度 ，从而可提高清洗设备能力约 力约为 45t的 N 装置 ，采用 电解法生产 ，将原料 30％。NF3还可用 作蚀刻剂 ，也用 于液 晶显示 器 HF和 N 通人装有 KHF2电解质 的电槽 中，阳极 (LCD)的加工 。为此，近年来N 需求量急剧增长 ， 室产生 的 N 经提纯后灌装 。该公 司前 曾宣布将 于 2001年初扩大能力至 80t，但未见进展 。该装置 90年代 中期全球年 用量不到 46t，目前 已增长至 900～1000t，预计每年将继续增长约 l5％。为满足 曾于 2000年 7月 因发生爆炸而停产 。据报道爆炸 是发生在 NF3精馏提纯过程 中，此工序 中无 HF，故 日益增长 的需求 ，世界各生产商均在积极扩大生产 无此有害气体泄漏 出。估计对该装置作 出肯定的安 能力。 全评价后 ，可恢复生产 。又据报道该装置被 DuPont 目前世界 N 主要生产商有 ：①AirProducts 收购 ，使后者也 开始进人 N 市场 。此外，最近报 (简称 AP)；②KantoDenka(关 东电化)；③Central 道 ，韩 国DaibeckAdvancedMaterials公司至 2002底 Glass(旭硝子)；④Mitsui(三井)；⑤BOCEdwards； 将其 NF3年生产能力扩大 l倍，达到300t。综上所 ⑥DuPOnd(收购原 AdvancedSpecialtyGases简称 述 ，国外 NF3生产发展迅猛 ，当这些新增能力全部 ASG 的 N 业务)。其 中AirProducts生产能力最 投产后 ，应能满足增长 的需求 ，但也要 防止生产过 大，扩产也最快，据报道该公司在美 国Hometown装 剩 。 置能力 1995年仅为 90多 t，至