ZQJ-230EK 氦质谱检漏仪.PDF
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ZQJ-230EK 氦质谱检漏仪
ZQJ-230EK 型
氦 质 谱 检 漏 仪
使 用 说 明 书
北京中科科仪技术发展有限责任公司
目 录
一 概述……………………………………………………………………………………(1)
1.1 氦质谱检漏仪的工作原理…………………………………………………………(1)
1.2 氦质谱检漏仪的检漏方式和检漏方法……………………………………………(3)
1.2.1 检漏方式…………………………………………………………………………(3)
1.2.2 检漏方法…………………………………………………………………………(4)
1.3 压强和漏率单位换算………………………………………………………………(6)
二 仪器介绍 ………………………………………………………………………………(7)
2.1 仪器结构 …………………………………………………………………………(7)
2.1.1 质谱室 ……………………………………………………………………………(7)
2.1.2 真空系统 …………………………………………………………………………(10)
2.1.3 电子机柜与控制面板…………………………………………………………… (12)
2.2 电子学线路…………………………………………………………………………(14)
2.2.1 离子流放大器和漏率显示电路………………………………………………… (14)
2.2.2 低真空测量电路………………………………………………………………… (15)
2.2.3 高真空测量和保护电路………………………………………………………… (15)
2.2.4 电子学调谐电路………………………………………………………………… (16)
2.2.5 发射电流稳定电路……………………………………………………………… (16)
2.3 仪器主要性能参数………………………………………………………………… (18)
2.4 仪器使用环境条件………………………………………………………………… (18)
2.5 仪器成套性………………………………………………………………………… (19)
三 使用方法…………………………………………………………………………………(20)
3.1 开箱…………………………………………………………………………………(20)
3.2 安装…………………………………………………………………………………(20)
3.3 操作…………………………………………………………………………………(21)
3.3.1 首次开机………………………………………………………………………… (21)
3.3.2 氦峰调试与漏率校准…………………………………………………………… (21)
3.3.3 喷吹法检漏……………………………………………………………………… (22)
3.3.4 吸入法检漏……………………………………………………………………… (25)
3.4 停机……………………………………………………………………………… (26)
3.4.1 维持备用………………………………………………………………………… (26)
3.4.2 完全停机………………………………………………………………………… (26)
I
四 维护………………………………………………………………………………………(27)
4.1 漏率校准……………………………………………………………………………(27)
4.2 真空维护与清洗……………………………………………………………………(27)
4.2.1 机械泵油面观测……………………………………………………………………(27)
4.2.2 更换机械泵油………………………………………………………………………(27)
4.2.3 分子泵加注润滑油…………………………………………………………………(28)
4
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