检漏仪内的质谱仪 - Pfeiffer Vacuum.PDF

检漏仪内的质谱仪 功能和优势 多年来，氦气泄漏检测已经成为各种应用领域测试气密性的方法。 质谱仪是检漏仪的核心部分 与其他气密性测试方法相比，它的高灵敏度、测量的可靠性以及易 重复性是最有力的优势。 我们所称呼的“质谱仪单元”是氦气检漏仪的核心部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 对于检测测试气体，普发真空提供基于质谱原理的检漏仪。质谱仪 体粒子进行撞击（图 1，紫色）。电子束利用金属丝在高温下产 对混合气体进行电离，并在其质荷比的基础上分离出所需的示踪气 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击，它会从电子层脱出。结 体。由于质谱仪的低检测限，普发真空检漏仪的高灵敏度得以保 果，带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子 证。 被电子之间的碰撞电离。 1 质谱仪单元周围的磁场是恒定的。上述彩虹射线的加速电压设置使 测试气体氦气（图 1，绿色射线）的粒子在撞击信号放大器之前飞 He 过不同的孔。氦离子的能量是真空系统内测试气体部分压力的指示 2 器，也是测试对象泄漏率的指示器。 He 3 需要真空系统以使氦离子从其原始位置飞向检测器。在环境压力 下，氦离子在与其他气体粒子撞击前能够飞 0.2 µm 左右。在质谱 TARGET 仪单元 10-4 mbar 的最大压力下，氦离子能够飞两米左右。只有通 He 过真空质谱仪单元的协助，才能确保测试气体顺利到达检测器。质 6 He Leak Signal 谱仪单元也可以调整成氢气。 普发真空的泄漏检测解决方案 amplifier VHS 普发真空凭借其广泛的检