一种质谱仪用射频电源及质谱仪.pdf

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

10）申请公布号

CN105895491A

43）申请公布日2016.08.24

（21）申请号CN201610414749.X

（22）申请日2016.06.12

（71）申请人清华大学深圳研究生院

地址518055广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区

（72）发明人王晓浩;鲁信琼;余泉;倪凯;钱翔

（74）专利代理机构深圳新创友知识产权代理有限公司

代理人王震宇

（51）Int.CI

H01J49/02;

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

一种质谱仪用射频电源及质谱仪

（57）摘要

一种质谱仪用射频电源及质谱仪，该质谱

仪用射频电源包括信号源、互补信号产生电路、

信号耦合电路和驱动电路；其中信号源产生两路

正弦信号RF和AC；互补信号产生电路产生RF+、

RF‑、AC+和AC‑四路信号，其中RF+和RF‑互补，

AC+和AC‑互补；信号耦合电路将AC+和AC‑耦合到

RF+信号上，得到RF+AC+耦合信号和RF+AC‑耦合

信号；驱动电路将RF+AC+耦合信号、RF+AC‑耦合

信号和RF‑信号放大产生高压射频电压，并输出到

负载上；或者，信号耦合电路将AC+和AC‑耦合到

RF‑信号上，得到RF‑AC+耦合信号和RF‑AC‑耦合信

号，驱动电路将RF‑AC+耦合信号、RF‑AC‑耦合信号

和RF+信号放大产生高压射频电压，并输出到负

载上。该质谱仪用射频电源可以实时改变射频电

压频率和幅度，灵活性、可控性好，驱动信号精

度高。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

2016-08-24公开公开

2016-08-24公开公开

2016-09-21实质审查的生效实质审查的生效

2016-09-21实质审查的生效实质审查的生效

2017-09-22授权授权

权利要求说明书

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说明书

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