ZQJ-230D氦质谱真空检漏仪使用说明书.pdf
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ZQJ-230D 氦质谱检漏仪
企业通过 ISO 9001 质量管理体系认证
ZQJ-230D 型
氦质谱检漏仪
使用说明书
KYKY ZQJ-230D 氦质谱检漏仪
目录
第一部分 仪器介绍
1.1外观尺寸1-1
1.2仪器结构1-1
1.2.1 质谱室1-3
离子源1-3
磁分析器1-4
接收极与前置放大器1-4
全离子检测极1-4
1.2.2 真空系统1-5
机械泵1-5
涡轮分子泵1-6
组合阀1-7
真空测量1-8
1.2.3 电气系统1-8
电子机柜1-8
操作台板1-10
电磁阀电源箱1-12
1.3 仪器主要性能参数1-13
1.4 仪器使用环境条件1-13
1.5 仪器成套性1-14
第二部分 使用方法2-1
2.1 开箱2-1
2.2 操作前准备2-1
2.3 安装2-2
2.4 操作2-2
2.4.1 首次开机2-2
2.4.2 氦峰调试与漏率校准2-3
2.4.3 喷吹法检漏2-6
正常检漏操作(≤10Pa)2-6
高压检漏操作(10~20Pa)2-7
延长预抽时间2-7
超高压检漏(20Pa)2-8
2.4.4 吸枪检漏2-8
2.5 停机2-9
2.5.1 维持备用2-9
2.5.2 完全停机2-10
第三部分 维 护3-1
3.1 漏率校准3-1
3.2 真空维护与清洗3-1
目录 III
KYKY ZQJ-230D 氦质谱检漏仪
3.2.1 机械泵油面观测3-1
3.2.2 更换机械泵油3-1
3.2.3 分子泵加注润滑油3-2
3.2.4 清洗分子泵3-2
3.2.5 清洗质谱室3-2
3.2.6 更换离子源3-11
3.2.7 清洗组合阀3-12
3.3 电子部件调整3-13
3.3.1 发射调节3-13
3.3.2 离子源电压校正3-13
3.3.3 热偶规管调整3-14
3.3.4 过压保护调节3-14
3.3.5 分子泵启动设置3-15
3.3.6 漏率显示放大器调整3-15
3.3.7 检查前置放大器供电3-15
3.4 检验氦本底3-16
3.5 仪器泄漏自检3-16
第四部分 常见故障及处理4-1
4.1 正常运转与故障判断4-1
4.2 故障检查与排除4-3
附录A ZQJ-230D 氦质谱检漏仪的工作原理A-1
A.1 质谱原理A-1
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