测试薄膜弯曲疲劳寿命的简易试验.pdf
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第 卷 第 期 物 理 实 验 ｌ．３４ Ｎｏ．７
３４ ７ Ｖｏ
年 月 ＰＨ ，
ＹＳＩＣＳＥＸＰＥＲＩＭＥＮＴＡＴＩＯＮ
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测试薄膜弯曲疲劳寿命的简易实验
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西南交通大学 物理科学与技术学院
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材料先进技术教 ， ）
． 育部重点实验室 四川 成都 ００３１
ｂ ６１
： ， 法 将待检测的薄膜沉积在一定
摘 要 基于悬臂梁振动和纯弯曲理论 提出测试薄膜弯曲疲劳寿命的简易实验方 ．
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尺寸的金属片上作为试样 外力驱动试样作悬臂梁一阶弯曲受迫振动 通过光学显微镜观察其表面的薄膜是否开裂或剥
， ，
落 确定薄膜的疲劳寿命 理论计算获得应力分布 以 为基体材料研究了 薄膜的疲劳特性
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