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芯片组及其制造方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113410223 B (45)授权公告日 2022.04.08 (21)申请号 202110662127.X H01L 21/56 (2006.01)

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