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包括微屏障的化学敏感传感器及其制造方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113383230 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 201980087532.4 (74)专利代理机构北京安信方达知识产权代理

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