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电容式压力传感器及其制造方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114577371 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202110659787.2 (22)申请日 2021.06.15 (30)优先权数据 109142112 2020.
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