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用于沉积氧化硅膜的组合物和方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113403605 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110662236.1 (51)Int.Cl.

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