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碳掺杂氧化硅的沉积.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113383108 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202080012410.1 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

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