半导体气体传感器及其制备方法和应用.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112834579 B
(45)授权公告日 2022.04.12
(21)申请号 202110017914.9 审查员 沈育德
(22)申请日 2021.01.07
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