掺镓直拉单晶硅的生长方法、掺镓单晶硅及应用.pdf
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112831828 B
(45)授权公告日 2021.12.07
(21)申请号 202110017582.4 H01L 31/0288 (2006.01)
显示全部