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掺镓直拉单晶硅的生长方法、掺镓单晶硅及应用.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112831828 B (45)授权公告日 2021.12.07 (21)申请号 202110017582.4 H01L 31/0288 (2006.01)
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