半导体-液晶行业设备材料选用介绍.ppt

半导体、液晶行业设备材料选用介绍;目录;1.机台常用材料种类;聚合物类： PP: 聚丙烯 PC: 聚碳酸酯 PVC：聚氯乙烯 C-PVC：氯化聚氯乙烯 POM: 聚甲醛塑料 PVDF： 聚偏氟乙烯 PTFE： 聚四氟乙烯;Nylon 610： 聚癸二酰己二胺 Nylon 612：聚十二乙烷二酰己二胺 Anti-static Transparent Acryl : 抗静电透明丙烯酸酯树脂； PEEK: 聚醚醚酮； UHMW-PE：超高分子量聚乙烯； PET: 聚对苯二甲酸类塑料 MC-Nylon: 单体浇铸尼龙 ;Al-profile: 铝质框架 主要是铝合金型材，一般加入Mg或Mn等金属形成相应的合金，具有密度小、强度高，耐蚀性好等优点，是很好的框架材料。 ;LG2: 炮铜，一种优质铜合金： 一种集耐腐蚀抗疲劳耐磨损于一身的优质铜合金，一般在工业上用作活动连接件。机台中把Bearing grease的材质就是采用这种合金。 Al + Electroless Ni plating：化学镀镍铝合金 利用化学镀膜方法在铝合金表面镀一层镍，具有很好的耐腐蚀能力、良好的机械性能，难溶及不易与被空气氧化。 （主要用于Dry CV unit） ;SUS: SUS304 / SUS440C / SUS316：不锈钢 SUS304是奥氏体不锈钢，塑性较好因而其冷加工性能佳，同时因其奥氏体组织结构，无磁性，热处理难以增加其强度，其耐腐蚀性能较优；多用于制作不锈钢日用品、容器。（主要用于碱液单元、水单元传动轴、风刀本体等） SUS440C是马氏体不锈钢，机械强度较SUS304高，并且可以通过热处理来进一步增强其机械性能，有磁铁吸附的特性；多用于制作工具、刀具及其它强度硬度要求较高的用途，可制造在腐蚀环境和无润滑强氧化中工作的轴承零件。 （主要用于SUS Bearing） ;SUS316不锈钢塑性、韧性、冷变性、焊接工艺性能良好，高温强度好，耐蚀性优秀，由于含碳量低且含有2%-3%的钼，提高了对还原性盐和各种无机酸和有机酸、碱、盐类的耐腐蚀性能，同时高温性强度。 (主要用于高压气体管路、药液单元等) ;PP: 聚丙烯 耐水性、化学稳定性、耐热性、成型性好等特点,机械性能较好，弯曲强度和拉伸强度接近于聚苯乙烯，刚性和延伸率好，抗应力开裂性比聚乙烯好，但耐磨性稍差；严重缺点是在氧，热，光作用下容易降解，老化，为此，应在聚丙烯塑料中加入稳定剂。 （主要用于马达传动的斜齿轮处）;Anti-Static Transparent PC: 抗静电透明聚碳酸酯 PC是一种综合性能优良的非晶型热塑性树脂，具有优异的电绝缘性、延伸性、尺寸稳定性及耐化学腐蚀性，较高的强度、耐热性和耐寒性，价格低廉；还具有自熄、阻燃、无毒、可着色等优点；但也有硬度不足容易刮花，不耐强酸，不耐强碱，不耐紫外线。 （主要用于设备的Cover、door等位置） ;PVC：聚氯乙烯 可分为硬聚氯乙烯和软聚氯乙烯。 硬聚氯乙烯：不含或只含少量的增塑剂。强度较高，质硬，介电性能好，化学稳定性好，抗酸碱能力强，但耐热性不高。主要用于制造片材，板材，管材，棒材，弯头等各种型材或泡沫塑料。 软聚氯乙稀：含较多的增塑剂，可塑性，流动性比硬聚氯乙稀好，制品柔软且富有弹性，抗酸碱能力强，耐寒耐光且不受氧及臭氧的影响，但耐热性，机械强度，耐磨性，耐溶性及介电性不如硬聚氯乙稀。用于制造手柄，绝缘垫等结构性零件，电线电缆的绝缘层和软管。 (主要用于chamber、DIW tank等) ;C-PVC：聚氯乙烯-C PVC经氯化而得的一种热塑性树脂，含氯量61～68%，氢原子没有全部被氯取代。溶解性、耐热性、耐寒性均比聚氯乙烯优越，不易燃烧，耐气候、耐化学药品及耐水性均优，可主要作热水上水管使用。 （主要用于水、药液管路等）;POM: 聚甲醛塑料 俗称赛钢，性质最接近金属。 具有高机械强度和刚性、最高的疲劳强度、耐有机溶剂性佳、耐反覆冲击性强、使用温度范围广、良好的电气性质、复原性良好、具自已润滑性、耐磨性良好、尺寸安定性优等特点，但也有加工过程若长时间高温下易起热分解、抗酸性差的不足。可用于生产工业零件：机械零件、齿轮、把手、玩具、螺杆等。 （用于马达齿轮等位置） ;;UHMW-PE：超高分子量聚乙烯 分子量极高，属于价格适中、性能优良的热塑性工程塑料，它几乎集中了各种塑料的优点，具有普通聚乙烯和其它工程塑料无可比拟的耐磨、耐冲击、自润滑、耐腐蚀、吸收冲击能、耐低温、卫生