一种基于光源波动抑制技术的MOEMS加速度计信号提取装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112924720 B
(45)授权公告日 2022.04.05
(21)申请号 202110106010.3 CN 106053884 A,2016.10.26
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