Au诱导形成有序Si纳米孔阵列及其应用-物理学报.PDF

See discussions, stats, and author profiles for this publication at: /publication/287409023 Fabrication and application of ordered Si nanopore array induced by Au Article in cta Physica Sinica -Chinese Edition- · May 2014 DOI: 10.7498/aps.63.098104 CIT TIONS RE DS 0 49 5 authors, including: Chihwei Wang Yorke Yang Delta Group National Kaohsiung First University of Scienc… 811 PUBLIC TIONS 5,516 CIT TIONS 182 PUBLIC TIONS 53 CIT TIONS SEE PROFILE SEE PROFILE Some of the authors of this publication are also working on these related projects: Precambrian Geology of Shandong Province View project National Key Project: Mechanism of structural geology in the Tarim Basin View project ll content following this page was uploaded by Chong Wang on 28 December 2015. The user has requested enhancement of the downloaded file. 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 63, No. 9 (2014) 098104 Au诱导形成有序Si纳米孔阵列及其应用∗ 王海澎 柯少颖 杨杰 王茺 杨宇 (云南大学光电信息材料研究所, 昆明 650091) ( 2013 年11 月21 日收到; 2014 年1 月20 日收到修改稿) 以自组装聚苯乙烯小球(PS) 单层膜为掩膜, 利用Au 对Si 表面的催化氧化作用以及KOH 溶液对单晶Si 的各向异性腐蚀特性, 在Si (100) 面上制备了一系列尺寸小于100 nm 有序可控的Si 纳米孔阵列. 扫描电镜 (SEM) 和原子力显微镜 (AFM) 等的测试结果显示: 当PS 小球溶液与甲醇溶液的体积比为9:11 时, 可形成 大面积无缺陷的单层膜; 但当体积比过大时, 会导致类似双层膜结构的形成; 而当体积比过小时, 会诱导形成 点缺陷和线缺陷. 对PS 小球及溅射Au 处理过的Si 晶片进行KOH 溶液腐蚀, 随着腐蚀时间变长, 纳米孔的横 向尺寸和深度增大, 其形貌由圆形逐渐变为倒金字塔型, 当腐蚀时间超过10 min, 纳米孔阵列的有序性遭到 破坏. 采用离子束溅射技术在倒金字塔型纳米孔衬底上获得了有序Ge/Si 纳米岛, 而在圆形纳米孔衬底上获 得了有序Ge/Si 纳米环. 进