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一种掩模版清洁搭载装置.pdf

发布：2024-03-10约8.87千字共8页下载文档

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(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220584541U

(45)授权公告日2024.03.12

(21)申请号202322331657.3

(22)申请日2023.08.29

(73)专利权人合肥清溢光电有限公司

地址2

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