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一种基片清洁装置.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220584548U

(45)授权公告日2024.03.12

(21)申请号202322325592.1

(22)申请日2023.08.29

(73)专利权人芯达半导体设备（苏州）有限公司

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