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一种针对气相金属辅助化学刻蚀的微波辅助装置.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116469799 A (43)申请公布日 2023.07.21 (21)申请号 202310359953.6 (22)申请日 2023.04.06 (71)申请人合肥工业大学地址 230009

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