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具有虚设导电件的半导体结构的制造方法.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117727645A

(43)申请公布日2024.03.19

(21)申请号202311768294.8H01L23/488(2006.01)

(22)申请日2023.04

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