液相电化学法制备非晶碳薄膜研究.pdf

VoL 第38卷增刊 哈尔滨工业大学学报 38Sup． 200 2006 6年7月 OFHARBININS唧yTEOFTECHNOLOGYJuly JOURNAL 液相电化学法制备非晶碳薄膜 黄丽娜，张记升，张玉娟，吴志中，张平余 (河南大学特种功能材料重点实验室，河南开封475001，E—mail：pingyu@henu．edu．on) 摘要：利用液相电沉积的方法在200V,60℃条件下。从乙腈的水溶液中沉积出非晶碳薄膜，通过拉曼光 谱对薄膜的结构进行了表征，并利用原子力显微镜和扫描电子显微镜对薄膜不同生长阶段的形貌进行了考 察．初步考察了该薄膜的摩擦学性能． 关键词：非晶碳薄膜；液相电化学法；摩擦学性能 中图分类号：THll7．3，0484文献标识码：A of carbonfilmselectrochemicalmethod Preparationamorphous by HUANG Li-na。ZHANGji-sheng，ZHANGYu-juan，WUZhi—shen，ZHANGPing—yu of Functional (LaboratorySpecial Materials，HenanUniversity，Kaifeng fromthesolutionof carbonfilmshavebeen onSi acetonitrileanddeion— Abstract：Amorphous depositedplate ized 200 andsurface ofthefilmwas Raman waterat Vand60℃．Thestructure morphology investigatedby force electron re· scatteringspectroscope，atomicmicroscopy(AFM)andScanning sultsshowthatthefilm is carbon ball—on—disctestwas film．Furthermore，a depositedamorphous employed toobtaininformationaboutthe ofthefilms． tribologicalproperties carbon Keywords：Amorphousfilms；liquideleetrodeposition；Tribologicalproperties Carbon 类金刚石薄膜(Diamond—likeFilms， 简称DLC薄膜)是碳的一种非晶亚稳态结构，由学气相沉积和物理气相沉积或者要求较高的基底 于该膜在力学、热学、电学、化学、光学等方面的优 温度，或者要求较为复杂的设备．而液相电化学法 异性能，在相当广泛的领域里具有应用前景．例如 具有设备简单，能耗低，条件容易控制，在平整和 其低摩擦系数、高硬度及化学稳定性质等，使得 不规则表面均能大面积成膜等特点，自从1992年 DL