扫描探针显微镜-中国物理C.PDF
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扫 描 探 针 显 微 镜 的 基 础 知 识
胡 晓 明
中国科学院物理研 究所 北京
本 世 纪 年 代 初 , 扫 描 探 针 显 微 镜 接触作用 区适用于做非接触式 见下文
对 硅表面第一 次 的实空 间成 象使整个 接触模式 接触模式也称 为排斥 力模
世界为之震惊 , 现在扫描探针显微镜 已在各行 式 , 操作时原子力探针与样 品表面有轻微 的物
的 , 面 ,
各业获得 了广泛 应用 包括表 科学 常规表 理接触 针尖置 于 一个弹性 系数很小 的悬臂前
凸 , 的 性系 小于 品 面原子结 的
面粗糙度的分析及表面从原子级到微米级 起 沿 悬臂 弹 数 样 表 合
, 面 ,
的三维成象 有效弹性系数 当针尖在样 品表 扫描时 针尖
,
扫描探针显微镜泛指一个 家族 , 用 以从原 与样 品表面 的接触力将使悬臂弯 曲 这一现象
子 面 的 , 可用 反 映 面 的
到微 米 水平 研 究物体表 性 质 所 有 的 来 表 形貌
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