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扫描探针显微镜 李振.ppt

发布:2016-08-17约字共28页下载文档
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扫描探针显微镜探针的制造 李振The fabrication of SPM probe SPM探针 探针是SPM中最关键的部件。不同的探针能够测量样本不同的特性。探针还决定了显微镜的分辨率 最常见的探针结构是悬臂结构 悬臂结构 SPM探针 探针的分类 通过使用不同的材料,探针可以测量样本的不同特性 磁性探针——MFM 光学探针——NSOM 静电力探针——EFM 热力学探针——STHM 电容探针——SCM 电子探针——STM 悬臂结构 结构:探针针尖和悬臂梁 材料:硅、氮化硅 方法:光刻加工 主要形式:V型悬臂(垂直方向弹性好,侧向刚度高) V型悬臂 悬臂结构 探针制造的考虑因素 探针针尖 悬臂梁 尖端锐度 探针深长宽比 导电性 耐磨损性 弹性系数 谐振频率 固有弯曲 表面粗糙度 传统制作方法 扫描隧道显微镜探针针尖的制作 将钨丝擦拭干净,固定并插入液面中心。 通直流电 溶液的表面张力使钨丝周围围成弯液面。液面出的钨丝反应速率最快,从而形成了尖。 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺
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