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SQDL平台应力测量仪操作规程（SOP）.pdf

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上海科技大学量子器件中心

（SQDL）

工艺设备SOP

FLX2320应力测试仪

版本：V1

发布年份：2024年

编写人：闫晓密

设备管理工程师：闫晓密、张祁莲

上海科技大学量子器件中心工艺设备SOP：FLX2320应力测试仪

目录

1.开机2

2.关机2

3.量测2

4.Stress-Time量

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