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SQDL平台1.5M酸碱通风操作规程（SOP）.pdf

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上海科技大学量子器件中心（SQDL）

工艺设备SOP

1.5M酸碱通风橱

版本：V3

发布年份：2023年

编写人：王镜喆

设备管理工程师：王镜喆

上海科技大学量子器件中心工艺设备SOP：1.5M酸碱通风橱（1号Liftoff有机清洗，大样品）

1.5M酸碱通风橱（1号Liftoff有机清洗，大样品）标准操作流程

及使用规范

1.设备功能（ToolFunction）1

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