電漿工程原理(lesson 1-introduction).ppt [相容模式].pdf
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電電漿漿工工程程原原理理
與與與與應應應應用用用用
詹 德 均
核能研究所核能研究所 物理組物理組
TEL: 03-4711400 ext.7440
mail: djjan@iner.gov.tw
1
Plasma Engineering PrinciplesPlasma Engineering Principles
anandddd AAAApppplilililicatcatiiiionsons
Introduction
Gases
Gas Phase Collision Processes
Plasmas
Glow Discharges
2
1
Lesson 1
IIIInnttttrorodddducuctitititionon
What is Plasma?
Generation of Plasma
Typypes of Plasma
Industrial Applications of Plasma
Plasma Reactors
Summary
3
What is plasma?
物質的第四態固態、液態、氣態、電漿態( )
4
2
What is plasma?
部份電離氣體 電子、離子、原子、分子或自由(
基等粒子組成的集合體基等粒子組成的集合體)) ,,且整体呈電中性且整体呈電中性 。。
5
What is plasma?
宇宙中99% 以上的物質都呈電漿態
6
3
Generation of Plasma
放電放電
放射線
直流放電 宇宙 放射性同位素
低頻放電 天體 X射線
高頻放電 上層大氣 粒子加速器
微波放電
感應放電
電漿 場致電離
真空紫外光 輝光下游的利用
雷 射
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