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萤石基材料薄膜和包括其的半导体器件.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582967 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202111439345.3 (22)申请日 2021.11.30 (30)优先权数据 10-2020-0165948
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