单晶硅太阳电池纳米减反射膜的研究.PDF

维普资讯 第23卷 第3期 固体 电子学研究与进展 Vo1．23．NO．3 2003正 8月 RESEARCHPROGRESSOFSSE Aug．，2003 单 晶硅太 阳电池纳米减反射膜 的研究 王 鹤 杨 宏 于化丛 吴洪才 陈光德 (西安交通大学太 阳能研究所 ，西安，710049) (。上海交通大学太 阳能研究所 ，上海 ，200030) 2001—07—02收稿 ，2001一ll—l3收改稿 摘要 ：报道 了用热喷涂工艺制备单 晶硅太 阳电池纳米减反射膜 的研究结果 ，讨论 了衬底温度对 TiO 纳米减 反射膜结构及折射率 的影响 ．优化 了热喷涂 的工艺条件 ．并研究了TiO 纳米减反射膜对单体太 阳电池效率 的贡 献 。实验证 明，用热喷涂工艺制备 的纳米 TiO 减反射膜可使 100mm×100mm单体太 阳电池 的平均光 电转换效 率增加 8 ～9 。 关键词 ：纳米 ；减反射膜 ；太 阳电池 中图分类号 ：TM914．4 文献标识码 ：A 文章编号 ：1000—3819(2003)03—316-04 TheExperim entalStudyon NanometerAntireflecti0n Coating Used in SingleCrystallineSilicon SolarCells W ANG He YANG Hong YU Huacong。 W U Hongcai CHEN Guangde (InstituteofSolarEnergy，XianJiaotongUniversity，Xian，710049，CHN) (2Instituteof SolarEnergy，ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai，200030．CHN) Abstract：Thispaper reports some investigation resultsaboutnanometer antireflection coatingpreparedbysprayingmethod．Theinfluenceoftemperatureon structureandrefractive index ofnanometerTiO isdiscussed．TheprocessofnanometerTiO antireflectioncoatinghas been optimizedforapplicationtocommercialsiliconphotovoltaiccells．Theexperimentsproved thattheaverageofsolarcellsefficiencyhasbeenraisedby 8 ～ 9 withthenanometerTiO antireflectioncoating． Keywords：nanom eter；antireflection coating；solarcells EEACC ：T843O · 一 ， 如果在硅表面有一层合适 的薄膜 ，利用薄膜干 士 涉的原理可 以使光 的反射大为减少 ，从而达到提高 丘