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光学级锗晶体生长方法新进展.pdf

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23 4 1999 7 Vol.23 .4 CHI ESE JOUR AL OF RARE METALS July 1999 苏 小 平 ( 北京有色金属研究总院, 北京100088) : 90 , VGF : () ( 3~ 5 m 8~ 12 m ) , , , , , CO , 2 , , , , 90 , 1 1 单晶锗的制备 (dT / dZ)L 0, (dT / dr ) 0; ( dT/ L 70 , dZ) (dT/ dr ) 0, S S , , 2 11 (CZ ) , , , , , ( ) , , , , 1CZ , , : 1998- 06- 16; , , ; : 2 312 23 121 VGF VGF 80 GaAs VGF GaAs [ 2] , Azoulay [ 3] VGF 4 VGF
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