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高重复率ArF准分子激光器的关键技术研究

高重复率ArF准分子激光器的关键技术研究

摘要：准分子激光器作为一种重要的光学器件，在许多领域有着广

泛的应用。随着科技进步和应用需求的增加，对准分子激光器在高重复

率下的性能要求也越来越高。本文主要研究了高重复率ArF准分子激光

器的关键技术，包括激光器腔内的平衡措施、射频系统的优化以及光学

元件的设计等方面。

关键词：准分子激光器；高重复率；ArF激光器；射频系统；光学元

件

1.引言

准分子激光器是一种基于分子激发态的激光器，具有高能量、短脉

冲、高光束质量等优点。其在微加工、医学、科学研究等领域有着广泛

的应用。然而，在一些特定应用中，需要对其高重复率性能进行提升，

以满足实际需求。

2.激光器腔内平衡措施

高重复率下，准分子激光器的腔内平衡是保持其稳定输出的重要因

素。在腔内，包括激光介质、激发器、反射镜等元件的性能都会影响腔

内平衡。通过合理设计激光介质和调整反射镜等手段，使得激发态和吸

收态之间的转换效率达到最优，从而保证高重复率下的稳定输出。

3.射频系统的优化

射频系统是控制激光器脉冲重复频率的关键部分。在高重复率下，

射频系统需要具备高精度和稳定性。通过优化脉冲信号的频率和幅度，

可实现激光器的高重复率工作。同时，适当的射频脉冲的激发时间和间

隔时间也是保证激光器高重复率稳定输出的重要因素。

4.光学元件的设计

对于高重复率ArF准分子激光器而言，光学元件的设计也是至关重

要的一部分。光学元件的优化设计可以改善光束质量和减小光学损耗，

进而提高激光器的输出功率和稳定性。通过使用高透射率的光学材料、

精确的光学曲率和多层膜镀膜等技术，实现激光器的高重复率稳定输出。

5.结果与讨论

通过对高重复率ArF准分子激光器的关键技术进行研究和探讨，得

出了以下结论：

（1）合理的激光器腔内平衡措施可以提高激光器的稳定输出；

（2）优化射频系统可以实现激光器的高重复率工作；

（3）光学元件的优化设计可以提高激光器的输出功率和稳定性。

6.结论

本文主要研究了高重复率ArF准分子激光器的关键技术，对激光器

腔内平衡措施、射频系统的优化以及光学元件的设计等方面进行了探讨。

通过合理的设计和优化，可以进一步提升准分子激光器的高重复率性能，

满足实际应用的需求。

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