《600W准分子激光器技术规范》.pdf

ICSXXX

CCSXXX

T/HEBQIA

团体标准

T/HEBQIA××××—2025

600W准分子激光器技术规范

（征求意见稿）

2025-××-××发布2025-××-××实施

河北省质量信息协会发布

T/HEBQIA××××—2025

目次

前  言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4技术要求2

4.1外观和感官要求2

4.2尺寸和重量2

4.3机械性能2

4.4使用性能2

4.5安全与防护3

5试验方法4

5.1外观检查4

5.2尺寸和重量检查4

5.3性能参数的测量方法4

5.4噪声测试4

5.5运输试验方法4

5.6可靠性试验4

6检验规则4

6.1组批4

6.2检验分类5

6.3出厂检验5

6.4型式检验5

7标识、包装、运输和贮存5

7.1标识5

7.2包装6

7.3储运6

附录A（规范性附录）噪声测试方法7

附录B（规范性附录）平均无故障工作时间试验方法8

I

T/HEBQIA××××—2025

前  言

本文件依据GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由深圳盛方科技有限公司。

本文件由河北省质量信息协会归口。

本文件起草单位：深圳盛方科技有限公司，深圳市大族半导体装备科技有限公司，云谷（固安）科

技有限公司、XXX。

本文件主要起草人：杨礼昭，郭朱、XXX。

II

T/HEBQIA××××—2025

600W准分子激光器技术规范

1范围

本文件规定了600W准分子激光器的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运

输和贮存。

本文件适用于600W准分子激光器的设计、制造、检验和使用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T2423.7-2018环境试验第2部分:试验方法试验Ec:粗率操作造成的冲击（主要用于设备型

样品）

GB6388运输包装收发货标志

GB7247.1-2012激光产品的安全第1部分：设备分类、要求

GB10320-