电子科技大学微固学院MEMS第二章要点解析.pdf

变换器：将一种物理量转换为另一种物理量的器件 传感器：将一种物理量或化学量转换为电量的器件 致动器：将电量转换为物理量或化学量的器件 传感器、变换器、致动器的关系 第二章 典型微系统的工作 原理及应用 transducer sensor actuator 声波传感器 生物传感器 2.1微传感器 2.1微传感器 压力传感器 •微传感器是目前应用最广泛的MEMS产品 [Madou， … 1997] . 定义：将能量从一种形式转换为另一种形式，并 针对特定可测量的输入为用户提供一种可用的能 容 内 要 主 热力驱动 量输出的器件。 压电驱动 2.2微驱动 静电驱动 物理量A 物理量B … (非电量) 敏 感 材 料 (电量) 微型夹钳 (变换型) 2.3带有微型致动 微型电动机 输 输 器的MEMS器件 微型阀 入 出 微型泵 微型流体器件 (P1) 电量 (P2) P1≠P2 (量变型) （1）微型声波传感器 定义：将机械能转换为电能产生声波 发展历程: 应用：气体成分的检测、Sonar 主要激励原理：压电效应、磁致伸缩效应 1885:英国 物理学家Releigh在研究地震波时 •表声波传感器(SAW: Surface Acoustic Waves) 发现了SAW 1885年,英国物理学家瑞利（Lord Rayleigh）根据对地震波 1949：Bell 实验室发明了 LiNbO3压电材料 的研究，首次提出了声表面波,即,瑞利波。它是能量集中于 1965：美国科学家R.M.W