GB/T 16942-1997电子工业用气体　氢.pdf

ce/T 16942一1997 前 言 本标准是根据SEMIC3.19-93((钢瓶装氢标准》(95年版)制定的，在技术要求上与之等同，试验方 法与之等效。 在将SEMIC3.19-93转化为本国标准时，结合我国实际情况，删去了SEMIC3.19-93中仅作为 参考的说明和物理常数及注释等内容，试验方法中增加了抽样、采样和氢气纯度三条，除氮含量的测定 采用SEMIC3.19-93的方法外，其余各项杂质含量的测定分别采用我国相应的通用试验方法国家标 准，同时对检测限和标样要求按SEMI标准规定进行了适当的调整。以上变动与SEMI标准无实质性差 异，使标准技术内容更加完整。 本标准由中华人民共和国化学工业部提出。 本标准由化学工业部西南化工研究院归口。 本标准起草单位:化学工业部西南化工研究院。 本标准主要起草人:陈雅丽、戴培述。 中华人民共和 国国家标准 电子工业用气体 氢 GB/T 16942一1997 Gasesforelectronicindustry-Hydrogen 1 范围 本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。 本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。氢主要被用来提供还原气氛，作为外延工 艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料 分子式:H2 相对分子质量:2.016(按 1991年国际相对原子质量) 2 引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均 为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。 GB/T3634-1995 氢气 GB/T5832.1-86气体中微量水分的测定 电解法 GB/T5832.2-86气体中微量水分的测定 露点法 GB/T6285-86气体中微量氧的测定 电化学法 GB/T6681-86气体化工产品采样通则 GB/T8984.1-1997气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定 气相色谱法 GB/T8984.3-1997 气体中怠烽的Nil宁 火怕离子徐洪 3 要求 电子工业用氢技术指标应符合表1的要求。 表 1 技术指标 V/V 项 目 指 标 氢纯度，10-z ) 99.9995 氮含量,10 ‘ 镇 2 氧含量,10-s 簇 0.5 一氧化碳含量,10-0 ( 0.5 二氧化碳含量,10-e ‘ 0.5 总烃(以甲烷计)含量,10-0 0.5 水分含量,10-s ( 0.5 颗粒 供需双方商定 国家技术监餐局1997一08一13批准 1998一05一01=Vhh GB/T 16942一1997 4 试验方法 4.1 抽样 电子工业用氢按表2规定随机抽样检验，最大批量为100瓶，当检验结果有任何一项指标不符合本 标准规定时，则自同批产品中重新加倍抽样检验，