GB/T 16944-2009电子工业用气体　氮.pdf

ICS 71. 100.20 G 86 中华人民共和国国家标准 GB/T 16944—2009 代替 GB/T 16944—1997 电子工业用气体氮 Gas for electronic industry—Nitrogen 2009-10-30 发布 2010-05-01 实施 发布 GB/T 16944—2009 -1.Z- —1— 刖 弓 本标准代替GB/T 16944-1997^电子工业用气体 氮》。 本标准与GB/T 16944—1997相比主要变化如下： ——修改电子工业用氮的适用范围（GB/T 16944—1997的第1章，本版的第1章）； ——修改规范性引用文件 （GB/T 16944—1997的第2章，本版的第2章）； ——修改技术指标内容（GB/T 16944—1997的第3章，本版的第3章）； ——修改电子工业用氮抽样和判定规则 （GB/T 16944—1997的4. 1,本版的4. 1）; ——增加电子工业用氮采样要求（见4. 1. 3）； -修改氢、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法（GB/T 16944—1997的4.3.4. 4、4. 6,本版的 4. 3）； ——修改总桂分析方法的检测限（16944—1997的4. 7,本版的4.4）； ——修改水分含量的分析方法（GB/T 16944—1997的4. 5,本版的4.6）； ——修改标志、包装、贮运及安全（GB/T 16944—1997的第5章，本版的第5章）； -增加规范性附录A,并把测定电子工业用氮中的氢、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的方法写入该 附录（见附录A）。 本标准的附录A为规范性附录。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。 本标准起草单位：中国计量 学研究院、西南化工研究设计院。 本标准主要起草人：周泽义、周鹏云。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——GB/T 16944—1997O T GB/T 16944—2009 电子工业用气体氮 1范围 本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大 规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压，化学气相淀积等。 分子式:N?。 相对分子质量：2 013 4 （按2005年国际相对原子质量计算）。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有 的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB 190危险货物包装标志 GB/T 3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T 3864工业氮 GB 5099 钢质无缝气瓶（GB 5099—1994,neq ISO 4705:1993） GB 7144气瓶颜色标志 GB/T 8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相