GB/T 14604-1993电子工业用气体　氧.pdf

中华人 民共和 国国家标准 GB/r 14604一93 电 子 工 业 用 气 体 氧 Gasesforelectronicindustry-Oxygen 飞 主题内容与适用范围 本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求，检验方法，检验规则及产品的包装、标 志、运输、贮存及安全要求。 电广 业「用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体 蚀划和剥离。也可用于光导纤维。 分f式:0 卞!{对分子质量:31.999(1989年国际相对原子质量表) 2 引用标准 ‘”190 危险货物包装标志 (;B3863L业用气态氧 GB4844 氦气 GB5099钢质无缝气瓶 GB5832.2气体中微量水的测定 露点法 GB668。液体化工产品采样通则 G136681气体化工产品采样通则 GB7144 气瓶颜色标记 (:137445 氢气 GB8984气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定 气相色谱法 GB8991气体中微量氢的测定 气相色谱法 GB/T14605氧气中微量氢、氮和氢含量的测定气相色谱法 GB/T14606气体中总烃的测定 火焰离子化检测法 3 技术要求 电子工业用气体氧的质量应符合下表的要求 项 目 】 指 标 超大规模集成电路级 半导体及集成电路级 电子级和散装液态氧 氧纯)变，川 “ ) 99.9853 K含址.1o6 ( 1 ，:5 9:5 袱含缺.JO’· ( 100 国家技术监督局1993-0s-26批准 1994一07一01实施 GB/T 14604一93 续表 指 标 项 目 超大规模集成电路级 半导体及集成电路级 电子级和散装液态氧 氮含量,10s 蕊 30 100 100 一氧化碳含量,10 ‘ ( 1 二氧化碳含量,10-G 蕊 1 一氧化碳和二氧化碳含量,10-巧 夏 5 5 总烃含量(以甲烷计),10 ‘ 蕊 1 5 25 氧化亚氮含量,10” 镇 1 2 2 氟含撼,10 蕊 10 水含傲,10 ‘ 蕊 2 2 2 总杂质含量(包括稀有气体),1。一‘ 毛 147 5000 5000 注:0)本标准不包括对颗粒的技术要求，该技术要求由供需双方商定。 ② 纯度及含量均以体积分数表示 4 检验方法 41 采样 4.1.1瓶装气态氧的采样应符合GB66