GB/T 14851-1993电子工业用气体 磷化氢.pdf
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代替 GB/T 14851—1993
电子工业用气体磷化氢
Gas for elect
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GB/T 14851-2025电子特气 磷化氢.pdf
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GBT148512025
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电子特气磷化氢
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ElectronicsecialtasPhoshine
pygp
2025-03-28发布2025-10-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT148512025
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
/—《》。/—,
本文件代替电子工业用气体磷化氢与相比除结构
GBT148512009GBT148512009
,:
调整和编辑性改动外
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2025-03-28发布2025-10-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT148512025
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
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GBT148512009GBT148512009
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调整和编辑性改动外
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电子特气磷化氢
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2025-03-28发布2025-10-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
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前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
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本文件代替电子工业用气体磷化氢与相比除结构
GBT148512009GBT148512009
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调整和编辑性改动外
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《GBT 14851-2025 电子特气 磷化氢》知识培训.pptx
《GBT14851-2025电子特气磷化氢》知识培训掌握最新国家标准，确保安全生产
目录标准背景与重要性01标准内容详解02磷化氢性质与用途03安全管理与实施04案例分析与经验分享05总结与建议06
01标准背景与重要性
国家标准历史背景标准的起源《GBT14851-2025电子特气磷化氢》标准的诞生源于对电子制造业中特定气体纯度和安全性的高标准需求，反映了我国在精细化工领域不断追求卓越的决心与努力。发展历程回顾自最初制定以来，该标准经过多次修订和完善，每一次更新都凝聚了行业内专家的智慧和实践经验，体现了科技进步与行业发展的紧密联系。国际接轨意义此标准的制定不仅提升了国内产品质量，
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GB/T 14602-1993电子工业用气体 氯化氢.pdf
中华人 民共和 国国家标准
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电子工业用气体 氯化氢
Gasesforelectronicindustry-Hydrogenchloride
1主题内容与适用范围
本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。
本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。
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电 子 工 业 用 气 体 氧
Gasesforelectronicindustry-Oxygen
飞 主题内容与适用范围
本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求，检验方法，检验规则及产品的包装、标
志、运输、贮存及安全要求。
电广 业「用氧主要用于二氧
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GB/T 26250-2010电子工业用气体 砷化氢.pdf
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电子工业用气体 砷化氢
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GB/T 26249-2010电子工业用气体 硒化氢.pdf
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电子工业 用气体 高纯氨
Gasesforelectronicindustry-Highpurityammonia
1主题内容与适用范围
本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、
贮存及安全要求。
本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业，氮化硅的化学气相淀积，也可用于硅
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GB/T 14603-1993电子工业用气体 三氟化硼.pdf
中华人 民共和 国国家标准
GB/r 14603一93
电子工业用气体 三氟化硼
Gasesforelectronicindustry-Borontrifluoride
主题内容与适用范围
本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。
本标准适用于以氟硼酸钠为原料，采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路
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GB/T 14600-1993电子工业用气体 氧化亚氮.pdf
中华人民共和国国家标准
GB/T 14600一93
电子工业用气体 氧化亚氮
Gasesforelectronicindustry-Nitrousoxide
1 主题内容与适用范围
本标准规定了电子工业用气体— 瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、验收规则及包装、标志、贮
存与运输要求。
本标准适用于硝酸钱热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气
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烟气排放磷化氢PH3气体传感器.pdf
深圳市东日瀛能科技有限公司
烟气排放磷化氢PH3气体传感器
烟气排放磷化氢PH3气体传感器是针对工业生产过程中高温、高湿、高粉尘、油水混合等恶劣环境，对气体
进行预处理与在线监测的解决方案，目标气体经过预处理后，符合气体分析仪所需的干净气体，能最大程度
保证气体检测分析的准确度，能有效延长气体传感器的使用寿命，提高传感器的可靠性。该系统可与各地环
保局进行系统联网，能根据各地环保局的标准进行订制开发
烟气排放磷化氢PH3气体传感器气体预处理系统组成：
1、恒温加热装置：保证气体能高效的被冷凝、除水，不管
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磷化氢PH3气体检测报警装置.pdf
深圳市东日瀛能科技有限公司
磷化氢 PH3 气体检测报警装置
环保排放磷化氢 PH3 浓度分析仪是针对工业生产过程中高温、高湿、高粉尘、油水混合等恶劣环境，对气体
进行预处理与在线监测的解决方案，目标气体经过预处理后，符合气体分析仪所需的干净气体，能最大程度
保证气体检测分析的准确度，能有效延长气体传感器的使用寿命，提高传感器的可靠性。
气体预处理系统组成：
1、恒温加热处理装置：保证气体能有效的被冷凝除水
2、三级过滤隔离装置：除油、除尘、干燥
3、温湿度监测装置
4、气体取样装置
5、气体检测装置
6、气体远程传输装置（RS485、RTU433、GPRS、TCP/IP 网口传输，可选）
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