硅片清洗操作规程.doc

硅片清洗操作规程 目的：为规范清洗生产作业，提高产品质量，确保安全生产制定本规程。 范围：清洗所有员工 内容：一.预冲洗 切片后的晶棒正确放入脱胶槽内 用喷头对硅片进行来回清洗，水向为硅片的正上方，水压保持0.2~0.4Mpa之间，喷头水量需要合理控制，直到硅胶片预冲洗干净为止，时间不能太长。 二.脱胶 1.A方法：a.关闭脱胶槽排水阀，向脱胶内注入70°C热水，水位高于粘胶面1~1.5cm左右，再打开加热开关。 B方法：用70°C 2.过程中要用海绵不停的对粘树脂条的位置给予清洗直至干净。 3.用手轻轻拨动倾倒的硅片，感觉硅胶片已经完全脱落时用手将少量的硅胶片轻轻挪动，轻轻拿起，保证硅胶片安全的脱离胶与玻璃板，然后放入准备好的周转箱内，每次拿片长度在5CM以内（记住：周转箱先注入清水至限位）并做好标识和相关记录。 4.打开排水阀，接着把钢板放到指定位置并将脱胶槽内外清洗干净。 三.插片 1.将插片盒放入插片槽内，向槽内加水淹没插片盒顶部为止。 2.从周转箱拿出少量硅片（20~30片/次）左手将硅胶片托住，大拇指将硅胶片一张张分开，右手拿硅片粘胶面正中位置把片插入盒内。 3.插片时力度不能过大，防止硅片崩边，硅落，缺角，破碎等。每盒25片，不允许少插，斜插，多插。 4.同一编号硅胶片插片性数不足25片时，单独插在一起，不可与其他编号的硅片混插，不良硅片要集中插到一个插片盒内，做到一个硅棒只有一个良品尾数和一个不良品尾数，并做好相关记录。 5.适时更换插片槽内的清水，保持槽内干净清澈。 四.超声波清洗硅胶片 1.打开电源，加热，起声载关，槽检查个表盘设定参数是否符合工艺要求。 2.各槽参数设定如下： 曹序 介质 温度 °C 超声功率 时间 备注 一 柠檬酸 40 100% 5~8 鼓泡+摆动 二 纯水 45 100% 5~8 鼓泡+摆动+循环水 三 药水 65~72 100% 5~8 摆动 四 药水 60~68 100% 5~8 摆动 五 纯水 50 100% 5~8 摆动+循环水 六 纯水 45 100% 5~8 摆动+循环水 七 纯水 35 100% 5~8 摆动+循环水 备注：以上参数以硅片清洗干净为基础，操作时间和温度以实际情况而定；不同的药水不同的配比以实际工艺为准，不可随意更改。出现设置异常，立即通知班长，禁止未经班长或主管允许下私自删除或更改机器程序的参数。 提篮从一个槽移至另一个槽时要垂直提取，垂直放下。避免碰碎或造成内裂。特殊情况，片子由未清洗干净的需要在三至六槽，重复清洗。 连续生产时时每清洗2000片向三 四槽加入两杯的药水，每清洗6000片左右更换一次药水，将放掉一半再注满，并加入相应的药水。 五.甩干 1.清洗干净后的硅片连插片盒单个横向装入甩干机内；每个插片盒却不得必须平衡对称放置。 2启动甩干时间为5分钟。 3.自动停机后，等内转盘停止转动再将插片盒式一起拿出，并整齐排放到传递桌上，把片盒内的碎片拿出，补齐数量25片/盒，再重复1~3步的工作直到硅胶片生产完毕。 4.认真填写相关记录硅片追踪单，记录追踪表，数字要正确，清晰，及时。 六.停机： 1.先把“加热”“超声波”“摆动”关掉，最后才可以关掉“电源”开关。 2.平常换水时要先关掉“加热”“超声波”开关，才能打开排水阀。如遇到检修槽子里的水要6小时后才可全放掉。 3.打扫机器及周边卫生。 浙江芯能光伏科技有限公司